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Flyer Controle en ligne de l eau ultra-pure pour le marché des semi-conducteurs
Contenu du document
Contrôle en ligne de l'eau
ultra-pure pour le marché des
semi-conducteurs
Étapes typiques des systèmes de traitement de l'eau ultra-pure
Filtration Multimédia
4 Osmose inverse
2 Filtration
1 Eau de ville
3 Filtration au charbon
5 Réduction du TOC
7 Destructeur
d'ozone
6 Membrane
de dégazage
Étape
d'ultra-filtration
8 Lits-mélangés
primaires Point de
prélèvement
10 Polissage sur
9 Réduction du TOC lits-élangés
Points de contrôle et paramètres clés
1 Eau de ville pH, TOC, TURB FAC = Filtre à charbon actif
2 Filtration Multimé dia FCL, TURB DINF = Disinfectant
3 Filtre à charbon (F AC) DISF, CL, TURB CL = Chlore libre
4 Osmose inverse pH , ORP, Conductivité Na = Sodium
5 Réduction du TO C TOC O3 = Ozone dissous
6 Membrane de dé gazage O2 O2 = Oxygène dissous
7 Destructeur d'ozo ne O3 ORP = Potentiel d'Oxydo/Réducti on
8 Lits-mélangés pri maires RES, Na, SiO2 pH = Valeur du pH
9 Reduction du TO C TOC RES = Résistivité
10 Polissage sur Lits -mélangés Na, RES, SiO2, TOC SC = Conductivité totale
SiO2 = Silice
TOC = Carbone Organique Total
TURB = Turbidité
Conductivité (Spécifique)/Résistivité Désinfectants
AMI Powercon S AMI Rescon AMI Trides AMI Codes-II
Système de surveillance Contrôle en ligne de la Analyseur ampéro Mesure colorimétrique en
pour la mesure automa- résistivité spécifique/ métrique pour les ligne des désinfectants
tique et continue de la conductivité spécifique mesures continues de suivant AWWA 4500-Cl G/
conductivité spécifique selon USP <645> concentration d‘oxydants EN ISO 7393-2
(totale)
• Système complet avec • Vérification in-situ avec • Technologie sans réac- • Insensible aux interfé-
transmetteur dédié, une résistance de très tifs et sans membranes rences d’autres ions et
capteur de conductivité haute précision de produits chimiques
de haute précision, • Capteur sans main-
cellule d'écoulement • Cellule d'écoulement tenance, très grande • Haute précision et
avec vanne à pointeau avec capteur intégré stabilité du point zéro et répétabilité grâce à la
et débitmètre numé- pour la mesure du débit nettoyage automatique calibration automatique
rique d'échantillon de la cellule du zéro avant chaque
• Compensation de tem- mesure
• Libération rapide du pérature automatique • Mesures fiables avec
capteur grâce au design surveillance intégrée du • Maintenance réduite
breveté slot-lock design • Commutation auto potentiel redox et/ou avec le module de
matique de la plage du pH (compensation nettoyage chimique
• Testé en usine et prêt à de mesure incluse) (option) contre les forts
l'emploi encrassements
• Débit de
70-100 l/hr
Conductivité Spécifique Résistivité Chlore libre Chlore libre
0.055 µS/cm-30 mS/cm 0.01-18.18 M? 0-5 ppm 0-5 ppm
Conductivité Spécifique Dioxyde de chlore Dioxyde de chlore
0.055-1000 uS/cm 0-3 ppm 0-6 ppm
Ozone Ozone
0-1 ppm 0-1 ppm
Oxygène dissous pH/Redox Potential Silica
AMI pH-Redox
AMI Oxytrace AMI Oxytrace QED QV-Flow AMI Silitrace
Mesure ampérométrique Mesure ampérométrique Détermination potentio- Analyseur pour la déen
continu des traces en continu des traces métrique stable du pH ou termination des traces
d’oxygène dissous d’oxygène dissous avec du potentiel redox de silice dans les cycles
auto-vérification intégrée eau-vapeur
• Capteur à 3 électro- • Électrode de Faraday • Electrode pH ou Redox • Limite de détection de
des (cathode, anode pour vérification ma- à électrolyte liquide, 0.5 ppb
et garde) et sonde de nuelle ou automatique capteur de référence et
température intégrée par génération électro- sonde de température • Haute stabilité de me-
chimique de concentra- PT100 sure grâce au spectro-
• Compensation inté- tions d’oxygène photomètre thermostaté
grée de la pression • Facilité de maintenance
atmosphérique et de la • Suivi intégré de la grâce à sa procédure • Calibration automatique
température pour une consommation de calibration sans programmable (zéro et
calibration facile à l’air d’électrolyte démontage des sondes pente) et vérification
• Surveillance automa- • «Sensor cap»: système • Compensation en • Facilité d’utilisation,
tique de l’électrolyte membrane et électro- température intégrée mesure manuelle
lyte intégré au capu- pour la calibration et la intégrée
• Disponible en version chon de la sonde mesure
compacte • Facilité d’utilisation, me-
(280?x?180 mm) • Disponible en • Fonctionnement éco- sure manuelle intégrée
version compacte nomique de l’analyseur
(400?x?420 mm) grâce à l’électrolyte • Option double voie ou
liquide remplaçable séquenceur automatique
(jusqu’à 6 voies)
Oxygène dissous Oxygène dissous Plage du pH Silice
0-20 ppm 0-20 ppm pH 1-12 0-1000 ppb
Saturation Saturation Potentiel Redox (ORP)
0-200% 0-200% –500 to +1500 mV
Sodium
AMI Silitrace Ultra AMI Soditrace AMI Sodium A
Mesure colorimétrique des traces Mesure en continu des traces de Mesure en continu du sodium disde
silice sodium dissous sous (pour échantillon pH>=2)
• Contrôle en temps réel grâce au • Calibration entièrement auto- • Limite de détection
système Swan Plug Flow matique au ppb en 3 points de de 0.1 ppb
concentration connue (limite de
• Photomètre chauffé pour les détection du sodium: 0.001 ppb) • Système fiable d’ajout du réactif
basses températures d'échantillon alcalinisant (diisopropylamine ou
• Régulation de l’injection du réactif ammonique) avec suivi continu du
• Vérification et étalonnage pro- alcalinisant en fonction du pH pH
grammables grâce à une pompe à air sans
maintenance • Option double voie ou séquenceur
• Chambre de réaction à tempéra- automatique (jusqu’à 6 voies)
ture constante • Etalonnage en trois points par
addition de standard en ppb (la • Facilité d’utilisation, mesure ma-
• Le système de dosage des réac- limite de détection pour le sodium nuelle intégrée
tifs et les conteneurs de réactifs reste à 0.001 ppb)
utilisent l'osmose inverse pour
concentrer l'échantillon • Régénération de l’électrode de
sodium automatique et paramétrable
Silice Sodium Sodium
0.005-25 ppb 0.001-10000 ppb 0-10000 ppb
Carbone Organique
Total (COT) Turbidité
AMI-II LineTOC Compact AMI Turbitrace AMI Turbiwell
Contrôle en ligne du carbone orga- Système néphélométrique pour la Turbidimètre sans contact. Méthode
nique total (COT) conformément à mesure de turbidité à faible niveau, certifiée US EPA 180.1/ISO 7027
USP <643> and EP 2.2.44 conformément à la norme ISO 7027
• Fonctionnement sans réactif pour • Mesure automatique program- • Optiques thermostatées pour la
une identification rapide des ten- mable du point zéro pour la com- prévention des erreurs de mesure
dances pensation de la dérive liées à la condensation
• Vérification automatique des • Rapide temps de réaction (T90<- • Convient pour le contrôle de la
performances (SST) et test de 15sec à 10 l/h) floculation (dosage du coagulant)
fonctionnement
• Vanne et connecteur pour l'éta- • Chambre de passage avec
• Fonction d'échantillonnage inté- lonnage selon ISO 7027 vidange automatique (option). Exgrée
ploitation ne nécessitant aucune
• Système d'échantillonnage intervention
• Coût d’exploitation optimisé : étanche à la pression et évite le
arrêt automatique et montée en dégazage de l'échantillon • Vérification facile et rapide avec
puissance sécurisée en fonction des étalons secondaires
du débit d’échantillon pour
protéger l’équipement • Options: contrôle du débit
d’échantillon DeltaT, dégazeur
• Capotage en acier inoxydable en pour supprimer les interférences
option pour une protection sup- liées aux bulles d’air dans l’échanplémentaire
de l’équipement et un tilon
nettoyage facilité
Total Organic Carbon (TOC) Turbidité Turbidité (EPA)
0-1000 ppb 0-100 FNU/NTU 0-100 FNU/NTU
Turbidité (ISO)
0-200 FNU/NTU
Appareils portables Options
AMI Inspector AMI Sample Sequencer Cleaning Module
Assurance qualité avec analyseurs Système complet pour le multi- Module pour le nettoyage chimique
portables étalons pour la valida- plexage continu et automatique automatique de la chambre de
tion des instruments de mesure de jusqu’à six échantillons pour mesure et du photomètre
en continu. Disponibles pour les 1 analyseur de process.
paramètres suivants: conductivité,
hydrogène, oxygène et pH
• Interface logger USB pour stoc- • Système complet incluant, régula- • Nettoyage automatique avec
kage des données sur une teur de contre pression et vanne ajout d’une ou deux solutions
longue période (8Go) pointeau pour chaque échantillon, nettoyantes (ex: solution de
vanne six voies qui commute soude à 2.5% ou d’acide
• Fonctionnement sur secteur ou jusqu’à six échantillons sur un sulfurique à 2.5%)
sur batterie rechargeable avec analyseur, mesure de débit
une autonomie de 24h minimum numérique. • Intervalle de nettoyage et durée
contrôlés par le boîtier de l’instru-
• Re-certification par • Sorties de signaux pour l’indica- ment
Swan possible tion de l’échantillon analysé et
pour l’alarme débit • Surveillance automatique du
Conductivité niveau de réactifs
0.055-1000 ?S/cm • A utiliser avec:
Hydrogène • AMI Sodium P • Module compatible avec:
0.1-800 ppm • AMI Sodium A • AMI Codes-II
0-50% Saturation • AMI Silica
Oxygène dissous • AMI Silitrace
0-20 ppm
0-200% Saturation
pH
pH 1-12
Le concept du Moniteur Swan
Les instruments Swan sont livrés
entièrement fonctionnels et prêts à
l'emploi. Cela garantit une intégration
facile du système ainsi qu'une
utilisation et une maintenance la
plus pratique possible.
Les normes les plus élevées en
matière de développement et de
production garantissent la qualité
de l'instrument attendue par nos
clients.
Intégration du système Maintenance aisée Qualité maximale assurée
• Système complet monté sur pan- • Navigation uniforme dans le menu • Caque analyseur est testé sur
neau avec connexions fluidiques pour une utilisation et une mainte- banc d'essai et étalonné en usine
préconfigurées pour une mise en nance aisée. Une seule interface avant d'être livré.
service rapide pour tous les équipements
• Alarmes automatiques de l'instru-
• Diverses possibilités de commu- • Configuration claire des instru- ment et autodiagnostique tels que
nication avec Profibus, Modbus, ments, bonne accessibilité de le niveau de réactif et les foncprotocole
HART, interface USB tous les composants pour une tions du capteur.
et sortie analogique 4-20mA utilisation et une maintenance
efficace. • Contrôle intégré du débit de
• Ingénierie de processus simple l'échantillon disponible pour
avec fonctions de regulation • Procédures de maintenance tous les analyseurs
(P, PI, PD ou PID), relais ou auto-explicatives. Les procédures
sortie analogique de maintenance peuvent être
facilement exécutées par
les exploitants
Swan Headquarters
Swan Subsidiaries
Distributors
©Swan 2023/Rev1
Swan Analytical Instruments
www.swaninstruments.ch
ultra-pure pour le marché des
semi-conducteurs
Étapes typiques des systèmes de traitement de l'eau ultra-pure
Filtration Multimédia
4 Osmose inverse
2 Filtration
1 Eau de ville
3 Filtration au charbon
5 Réduction du TOC
7 Destructeur
d'ozone
6 Membrane
de dégazage
Étape
d'ultra-filtration
8 Lits-mélangés
primaires Point de
prélèvement
10 Polissage sur
9 Réduction du TOC lits-élangés
Points de contrôle et paramètres clés
1 Eau de ville pH, TOC, TURB FAC = Filtre à charbon actif
2 Filtration Multimé dia FCL, TURB DINF = Disinfectant
3 Filtre à charbon (F AC) DISF, CL, TURB CL = Chlore libre
4 Osmose inverse pH , ORP, Conductivité Na = Sodium
5 Réduction du TO C TOC O3 = Ozone dissous
6 Membrane de dé gazage O2 O2 = Oxygène dissous
7 Destructeur d'ozo ne O3 ORP = Potentiel d'Oxydo/Réducti on
8 Lits-mélangés pri maires RES, Na, SiO2 pH = Valeur du pH
9 Reduction du TO C TOC RES = Résistivité
10 Polissage sur Lits -mélangés Na, RES, SiO2, TOC SC = Conductivité totale
SiO2 = Silice
TOC = Carbone Organique Total
TURB = Turbidité
Conductivité (Spécifique)/Résistivité Désinfectants
AMI Powercon S AMI Rescon AMI Trides AMI Codes-II
Système de surveillance Contrôle en ligne de la Analyseur ampéro Mesure colorimétrique en
pour la mesure automa- résistivité spécifique/ métrique pour les ligne des désinfectants
tique et continue de la conductivité spécifique mesures continues de suivant AWWA 4500-Cl G/
conductivité spécifique selon USP <645> concentration d‘oxydants EN ISO 7393-2
(totale)
• Système complet avec • Vérification in-situ avec • Technologie sans réac- • Insensible aux interfé-
transmetteur dédié, une résistance de très tifs et sans membranes rences d’autres ions et
capteur de conductivité haute précision de produits chimiques
de haute précision, • Capteur sans main-
cellule d'écoulement • Cellule d'écoulement tenance, très grande • Haute précision et
avec vanne à pointeau avec capteur intégré stabilité du point zéro et répétabilité grâce à la
et débitmètre numé- pour la mesure du débit nettoyage automatique calibration automatique
rique d'échantillon de la cellule du zéro avant chaque
• Compensation de tem- mesure
• Libération rapide du pérature automatique • Mesures fiables avec
capteur grâce au design surveillance intégrée du • Maintenance réduite
breveté slot-lock design • Commutation auto potentiel redox et/ou avec le module de
matique de la plage du pH (compensation nettoyage chimique
• Testé en usine et prêt à de mesure incluse) (option) contre les forts
l'emploi encrassements
• Débit de
70-100 l/hr
Conductivité Spécifique Résistivité Chlore libre Chlore libre
0.055 µS/cm-30 mS/cm 0.01-18.18 M? 0-5 ppm 0-5 ppm
Conductivité Spécifique Dioxyde de chlore Dioxyde de chlore
0.055-1000 uS/cm 0-3 ppm 0-6 ppm
Ozone Ozone
0-1 ppm 0-1 ppm
Oxygène dissous pH/Redox Potential Silica
AMI pH-Redox
AMI Oxytrace AMI Oxytrace QED QV-Flow AMI Silitrace
Mesure ampérométrique Mesure ampérométrique Détermination potentio- Analyseur pour la déen
continu des traces en continu des traces métrique stable du pH ou termination des traces
d’oxygène dissous d’oxygène dissous avec du potentiel redox de silice dans les cycles
auto-vérification intégrée eau-vapeur
• Capteur à 3 électro- • Électrode de Faraday • Electrode pH ou Redox • Limite de détection de
des (cathode, anode pour vérification ma- à électrolyte liquide, 0.5 ppb
et garde) et sonde de nuelle ou automatique capteur de référence et
température intégrée par génération électro- sonde de température • Haute stabilité de me-
chimique de concentra- PT100 sure grâce au spectro-
• Compensation inté- tions d’oxygène photomètre thermostaté
grée de la pression • Facilité de maintenance
atmosphérique et de la • Suivi intégré de la grâce à sa procédure • Calibration automatique
température pour une consommation de calibration sans programmable (zéro et
calibration facile à l’air d’électrolyte démontage des sondes pente) et vérification
• Surveillance automa- • «Sensor cap»: système • Compensation en • Facilité d’utilisation,
tique de l’électrolyte membrane et électro- température intégrée mesure manuelle
lyte intégré au capu- pour la calibration et la intégrée
• Disponible en version chon de la sonde mesure
compacte • Facilité d’utilisation, me-
(280?x?180 mm) • Disponible en • Fonctionnement éco- sure manuelle intégrée
version compacte nomique de l’analyseur
(400?x?420 mm) grâce à l’électrolyte • Option double voie ou
liquide remplaçable séquenceur automatique
(jusqu’à 6 voies)
Oxygène dissous Oxygène dissous Plage du pH Silice
0-20 ppm 0-20 ppm pH 1-12 0-1000 ppb
Saturation Saturation Potentiel Redox (ORP)
0-200% 0-200% –500 to +1500 mV
Sodium
AMI Silitrace Ultra AMI Soditrace AMI Sodium A
Mesure colorimétrique des traces Mesure en continu des traces de Mesure en continu du sodium disde
silice sodium dissous sous (pour échantillon pH>=2)
• Contrôle en temps réel grâce au • Calibration entièrement auto- • Limite de détection
système Swan Plug Flow matique au ppb en 3 points de de 0.1 ppb
concentration connue (limite de
• Photomètre chauffé pour les détection du sodium: 0.001 ppb) • Système fiable d’ajout du réactif
basses températures d'échantillon alcalinisant (diisopropylamine ou
• Régulation de l’injection du réactif ammonique) avec suivi continu du
• Vérification et étalonnage pro- alcalinisant en fonction du pH pH
grammables grâce à une pompe à air sans
maintenance • Option double voie ou séquenceur
• Chambre de réaction à tempéra- automatique (jusqu’à 6 voies)
ture constante • Etalonnage en trois points par
addition de standard en ppb (la • Facilité d’utilisation, mesure ma-
• Le système de dosage des réac- limite de détection pour le sodium nuelle intégrée
tifs et les conteneurs de réactifs reste à 0.001 ppb)
utilisent l'osmose inverse pour
concentrer l'échantillon • Régénération de l’électrode de
sodium automatique et paramétrable
Silice Sodium Sodium
0.005-25 ppb 0.001-10000 ppb 0-10000 ppb
Carbone Organique
Total (COT) Turbidité
AMI-II LineTOC Compact AMI Turbitrace AMI Turbiwell
Contrôle en ligne du carbone orga- Système néphélométrique pour la Turbidimètre sans contact. Méthode
nique total (COT) conformément à mesure de turbidité à faible niveau, certifiée US EPA 180.1/ISO 7027
USP <643> and EP 2.2.44 conformément à la norme ISO 7027
• Fonctionnement sans réactif pour • Mesure automatique program- • Optiques thermostatées pour la
une identification rapide des ten- mable du point zéro pour la com- prévention des erreurs de mesure
dances pensation de la dérive liées à la condensation
• Vérification automatique des • Rapide temps de réaction (T90<- • Convient pour le contrôle de la
performances (SST) et test de 15sec à 10 l/h) floculation (dosage du coagulant)
fonctionnement
• Vanne et connecteur pour l'éta- • Chambre de passage avec
• Fonction d'échantillonnage inté- lonnage selon ISO 7027 vidange automatique (option). Exgrée
ploitation ne nécessitant aucune
• Système d'échantillonnage intervention
• Coût d’exploitation optimisé : étanche à la pression et évite le
arrêt automatique et montée en dégazage de l'échantillon • Vérification facile et rapide avec
puissance sécurisée en fonction des étalons secondaires
du débit d’échantillon pour
protéger l’équipement • Options: contrôle du débit
d’échantillon DeltaT, dégazeur
• Capotage en acier inoxydable en pour supprimer les interférences
option pour une protection sup- liées aux bulles d’air dans l’échanplémentaire
de l’équipement et un tilon
nettoyage facilité
Total Organic Carbon (TOC) Turbidité Turbidité (EPA)
0-1000 ppb 0-100 FNU/NTU 0-100 FNU/NTU
Turbidité (ISO)
0-200 FNU/NTU
Appareils portables Options
AMI Inspector AMI Sample Sequencer Cleaning Module
Assurance qualité avec analyseurs Système complet pour le multi- Module pour le nettoyage chimique
portables étalons pour la valida- plexage continu et automatique automatique de la chambre de
tion des instruments de mesure de jusqu’à six échantillons pour mesure et du photomètre
en continu. Disponibles pour les 1 analyseur de process.
paramètres suivants: conductivité,
hydrogène, oxygène et pH
• Interface logger USB pour stoc- • Système complet incluant, régula- • Nettoyage automatique avec
kage des données sur une teur de contre pression et vanne ajout d’une ou deux solutions
longue période (8Go) pointeau pour chaque échantillon, nettoyantes (ex: solution de
vanne six voies qui commute soude à 2.5% ou d’acide
• Fonctionnement sur secteur ou jusqu’à six échantillons sur un sulfurique à 2.5%)
sur batterie rechargeable avec analyseur, mesure de débit
une autonomie de 24h minimum numérique. • Intervalle de nettoyage et durée
contrôlés par le boîtier de l’instru-
• Re-certification par • Sorties de signaux pour l’indica- ment
Swan possible tion de l’échantillon analysé et
pour l’alarme débit • Surveillance automatique du
Conductivité niveau de réactifs
0.055-1000 ?S/cm • A utiliser avec:
Hydrogène • AMI Sodium P • Module compatible avec:
0.1-800 ppm • AMI Sodium A • AMI Codes-II
0-50% Saturation • AMI Silica
Oxygène dissous • AMI Silitrace
0-20 ppm
0-200% Saturation
pH
pH 1-12
Le concept du Moniteur Swan
Les instruments Swan sont livrés
entièrement fonctionnels et prêts à
l'emploi. Cela garantit une intégration
facile du système ainsi qu'une
utilisation et une maintenance la
plus pratique possible.
Les normes les plus élevées en
matière de développement et de
production garantissent la qualité
de l'instrument attendue par nos
clients.
Intégration du système Maintenance aisée Qualité maximale assurée
• Système complet monté sur pan- • Navigation uniforme dans le menu • Caque analyseur est testé sur
neau avec connexions fluidiques pour une utilisation et une mainte- banc d'essai et étalonné en usine
préconfigurées pour une mise en nance aisée. Une seule interface avant d'être livré.
service rapide pour tous les équipements
• Alarmes automatiques de l'instru-
• Diverses possibilités de commu- • Configuration claire des instru- ment et autodiagnostique tels que
nication avec Profibus, Modbus, ments, bonne accessibilité de le niveau de réactif et les foncprotocole
HART, interface USB tous les composants pour une tions du capteur.
et sortie analogique 4-20mA utilisation et une maintenance
efficace. • Contrôle intégré du débit de
• Ingénierie de processus simple l'échantillon disponible pour
avec fonctions de regulation • Procédures de maintenance tous les analyseurs
(P, PI, PD ou PID), relais ou auto-explicatives. Les procédures
sortie analogique de maintenance peuvent être
facilement exécutées par
les exploitants
Swan Headquarters
Swan Subsidiaries
Distributors
©Swan 2023/Rev1
Swan Analytical Instruments
www.swaninstruments.ch
Entreprise(s) concernée(s) :
Produit(s) concerné(s) :
Date d'upload du document :
vendredi 4 octobre 2024