Ce produit est recommandé pour
- cartographie de wafers jusqu'à 200 mm
- caractérisation de métrologique
- développement de procédés semi-conducteurs
Description du produit
Le X'Pert³ MRD XL de PANALYTICAL® est un système de diffraction des rayons X (XRD) de pointe, conçu pour répondre aux exigences rigoureuses des analyses haute résolution dans les secteurs des semi-conducteurs et des matériaux avancés. Ce diffractomètre est particulièrement adapté à la cartographie complète des wafers jusqu'à 200 mm, offrant une polyvalence exceptionnelle pour une large gamme d'applications, y compris la caractérisation métrologique et le développement de procédés dans les environnements industriels.
Avec une plateforme améliorée, le X'Pert³ MRD XL assure des performances et une fiabilité accrues, grâce à l'intégration de technologies avancées telles que les tubes à rayons X céramiques et les détecteurs de pixels hybrides, qui garantissent une précision inégalée. Le système est également doté d'un goniomètre horizontal haute précision avec un encodage optique direct, offrant une précision angulaire exceptionnelle pour des mesures répétables et fiables.
De plus, le X'Pert³ MRD XL est évolutif et peut intégrer des accessoires tels qu'un monochromateur haute résolution, augmentant ainsi l'intensité du faisceau incident pour des résultats de qualité supérieure. Avec sa capacité à se reconfigurer rapidement grâce au concept PreFIX, il est un choix idéal pour les environnements de recherche et de production nécessitant une flexibilité maximale.
Caractéristiques générales
| Caractéristique | Valeur |
|---|---|
| Déplacement x, y | 200 x 200 mm² |
| Diamètre de wafer max | 200 mm |
| Dimensions | 1370(l) x 1131(P) x 1972(H) mm |
| Dimensions de l'enceinte | 1370 x 1131 x 1972 mm |
| Plage d’utilisation max | -40° à +160° |
| Plage utilisable maximale | -40° < 2θ < 160° |
| Plus petit incrément | 0.0001° |
| Poids | 1150 kg |
| Précision à court terme (0.5°) | ±0.0004° |
| Précision à long terme | ±0.0025° |
| Précision courte portée | ±0.0004° |
| Précision longue portée | ±0.0025° |
| Puissance du générateur | 3 kW |
| Rayon du goniomètre | 420 mm |
| Reproductibilité angulaire | < 0.0002° |
| Rotation Chi | ±92° |
| Rotation Phi | 2 x 360° |
| Taille de pixel | 55 x 55 µm² |
| Type de goniomètre | Horizontal |
FAQ - Informations clés
Quelle est la précision à long terme du goniomètre pour le système X'Pert³ MRD XL ?
La précision à long terme du goniomètre pour le système X'Pert³ MRD XL est de ±0.0025°.
Quelle est la plage utilisable maximale du goniomètre pour le X'Pert³ MRD XL ?
La plage utilisable maximale du goniomètre pour le X'Pert³ MRD XL est de -40° < 2θ < 160°.
Quel est le poids du système X'Pert³ MRD XL ?
Le poids du système X'Pert³ MRD XL est de 1150 kg.
Quelles sont les dimensions de l'enceinte du X'Pert³ MRD XL ?
Les dimensions de l'enceinte du X'Pert³ MRD XL sont 1370 x 1131 x 1972 mm.
