Le régulateur de débit massique Type 8626 forme un système intégré, comprenant un capteur de débit, une électronique de régulation et une électrovanne de régulation.
Avec le régulateur, le débit massique de gaz peut être maintenu constant ou suivre un profil de points de consigne prédéfini indépendamment des paramètres influents (comme des variations de pression ou température). Le capteur fonctionne selon le principe thermique (Anémomètre à Température constante). La mesure est faite dans le canal principal et fournit le débit massique directement sans aucune correction (voir description page 2).
Dans le régulateur de débit le point de consigne et la valeur actuelle sont comparés, et le signal de régulation est calculé pour l'électrovanne proportionnelle. L'électrovanne de régulation à action directe fonctionne selon le principe du plongeur et est actionné par un signal PWM.
En plus de sa fonction de régulation, l'électrovanne assure une fonction de fermeture étanche. Du fait de faire la mesure de débit dans le canal principal, le MFC type 8626 est caractérisé par une excellente dynamique et une faible sensibilité à la contamination.
Le type 8626 peut être étalonné pour deux gaz différents, l'utilisateur ayant la possibilité de commuter d'un gaz à l'autre. Les domaines d'applications types sont le dosage du gaz ou la production de mélange de gaz dans: Technologie de Process, Traitement de chaleur, Revêtement de surface, Régulation des brûleurs, Technologie des piles à combustibles, L'environnement
