Ce produit est recommandé pour
- dépôt de couche atomique
- recuit de thermique rapide
- dépôt chimique de phase vapeur
Description du produit
La COBRA DS 5161–9161 B/F de BUSCH® est une pompe à vide sèche de nouvelle génération, spécialement conçue pour répondre aux exigences des procédés industriels les plus rigoureux. Grâce à son concept de vis perfectionné, elle assure une performance de haut niveau avec un booster de vide intégré. Cette pompe est particulièrement adaptée pour des applications telles que le dépôt chimique en phase vapeur, le recuit thermique rapide et le dépôt de couche atomique. Sa conception compacte, avec un moteur immergé et un accouplement direct, permet une intégration facile dans divers environnements industriels.
En termes de maintenance, la COBRA DS 5161–9161 B/F se distingue par ses coûts de possession réduits et ses intervalles de maintenance prolongés, garantissant ainsi un temps de fonctionnement élevé. Le refroidissement indirect par eau optimise son efficacité énergétique, tandis que son débit d'hydrogène élevé la rend idéale pour des applications spécifiques nécessitant une gestion précise des gaz. En résumé, cette pompe à vide sèche est un choix judicieux pour les industries recherchant à la fois performance, efficacité et fiabilité.
Caractéristiques générales
| Caractéristique | Valeur |
|---|---|
| Aspiration de gaz | DN 200 |
| Consommation d'azote | 0 – 200 l/min |
| Consommation électrique à pression finale | 11,5 kW |
| Consommation électrique en mode veille | 9 kW |
| Consommation en eau | 15 l/min |
| Dimensions (l x w x h) | 1550 x 722 x 1452 mm |
| Échappement de gaz | DN 63 |
| Niveau de pression sonore | < 75 dB(A) |
| Poids approx. | 1500 kg |
| Pression finale | 0,001 hPa |
| Puissance nominale du moteur de la pompe booster | 15 kW |
| Puissance nominale du moteur de la pompe primaire | 15 kW |
| Vitesse de pompage nominale | 4300 m³/h |
| Vitesse nominale de rotation du moteur de la pompe booster | 3600 min⁻¹ |
| Vitesse nominale de rotation du moteur de la pompe primaire | 3600 min⁻¹ |
FAQ - Informations clés
Quelle est la vitesse de pompage nominale pour la COBRA DS 5161 B ?
La vitesse de pompage nominale pour la COBRA DS 5161 B est de 4300 m³/h.
Quelle est la pression finale atteinte par la COBRA DS 5161 B ?
La pression finale atteinte par la COBRA DS 5161 B est de 0,001 hPa.
Quelle est la consommation électrique en mode veille pour la COBRA DS 5161 B ?
La consommation électrique en mode veille pour la COBRA DS 5161 B est de 9 kW.
Quelle est la consommation d'eau de la COBRA DS 5161 B ?
La consommation d'eau de la COBRA DS 5161 B est de 15 l/min.
