Ce produit est recommandé pour

  • dépôt chimique de phase vapeur
  • recuit thermique de rapide
  • fabrication de semi-conducteurs

Description du produit

La COBRA DS 3010/3161 C/G de la marque BUSCH® représente la quintessence de l'innovation dans le domaine des pompes à vide sèches. Conçue pour répondre aux exigences des procédés industriels modernes, cette pompe se distingue par sa haute performance et son efficacité optimisée. Elle est idéale pour des applications complexes telles que le dépôt chimique en phase vapeur, le recuit thermique rapide et le dépôt de couches atomiques. Grâce à son concept de vis perfectionné et à son booster de vide intégré, elle offre une qualité de fonctionnement exceptionnelle.

Sa conception compacte, combinant pompe primaire et pompe booster sur un cadre de base, permet une intégration aisée dans divers environnements industriels, notamment dans la fabrication d'écrans plats, de batteries lithium-ion et de semi-conducteurs. Avec un faible coût de possession et une maintenance minimale, la COBRA DS 3010/3161 C/G assure des intervalles de maintenance étendus, augmentant ainsi le temps de fonctionnement. Le refroidissement indirect par eau et le débit d'hydrogène élevé contribuent à son efficacité énergétique.

En résumé, la COBRA DS 3010/3161 C/G est une solution fiable et durable pour les industries cherchant à optimiser leurs processus de production tout en réduisant leurs coûts opérationnels. Sa robustesse et ses performances en font un choix privilégié pour les applications exigeantes.

Caractéristiques générales

CaractéristiqueValeur
Aspiration de gaz DN 160
Consommation d'azote 0 – 200 l/min
Consommation électrique à pression finale 11,8 kW
Consommation électrique en mode veille 9,9 kW
Consommation en eau 10 l/min
Dimensions (l x w x h) 1420 x 722 x 1452 mm
Échappement de gaz DN 63
Niveau de pression sonore < 75 dB(A)
Poids approx. 1500 kg
Pression finale 0,001 hPa
Puissance nominale du moteur de la pompe booster 15 kW
Puissance nominale du moteur de la pompe primaire 15 kW
Vitesse de pompage nominale 3200 m³/h
Vitesse nominale de rotation du moteur de la pompe booster 5400 min⁻¹
Vitesse nominale de rotation du moteur de la pompe primaire 3600 min⁻¹

FAQ - Informations clés

Quelle est la vitesse de pompage nominale pour la pompe à vide sèche COBRA DS 3010/3161 C/G ?

La vitesse de pompage nominale pour la pompe à vide sèche COBRA DS 3010/3161 C/G est de 3200 m³/h.

Quelle est la pression finale atteinte par la pompe à vide sèche COBRA DS 3010/3161 C/G ?

La pression finale atteinte par la pompe à vide sèche COBRA DS 3010/3161 C/G est de 0,001 hPa.

Quelle est la consommation électrique en mode veille pour la pompe à vide sèche COBRA DS 3010/3161 C/G ?

La consommation électrique en mode veille pour la pompe à vide sèche COBRA DS 3010/3161 C/G est de 9,9 kW.

Quel est le niveau sonore de la pompe à vide sèche COBRA DS 3010/3161 C/G ?

Le niveau sonore de la pompe à vide sèche COBRA DS 3010/3161 C/G est inférieur à 75 dB(A).

Questions techniques fréquentes

Comment identifier et quantifier les fuites dans un système de vide efficacement ?

F.A.Q Le 16/05/2024 - 1 réponse

Dernière réponse : Pour identifier et quantifier les fuites dans un système de vide de manière efficace, il est essentiel d'utiliser des méthodes de détection de fuites précises et fiables. Lire plus