COBRA BC 0601–1200 A/G
Pompe à vide sèche à vis

Description du produit

La COBRA BC 0601–1200 A/G de BUSCH est une pompe à vide sèche à vis, reconnue pour ses performances exceptionnelles dans les applications de semi-conducteurs légères à moyennes. Ce modèle se distingue par son concept de vis sophistiqué et sa structure en forme de cloche, qui intègrent des vis auto-équilibrées brevetées. Ces caractéristiques permettent d'atteindre d'excellentes qualités de fonctionnement, garantissant ainsi un rendement optimal et une efficacité énergétique accrue.

Cette pompe est particulièrement adaptée aux procédés de dépôt de couches atomiques à froid, aux sas de chargement, aux chambres de transfert, ainsi qu'aux travaux de métrologie. Elle est également idéale pour des applications telles que la lithographie, le dépôt physique en phase vapeur (PVD), le recuit thermique rapide et la gravure de l'oxyde, du silicium et du métal.

Par ailleurs, la COBRA BC 0601–1200 A/G offre un faible coût de possession grâce à sa maintenance minimale et à ses intervalles de maintenance étendus. Son temps de fonctionnement élevé est un atout majeur pour les industries de fabrication de semi-conducteurs et de l'énergie solaire. Avec un refroidissement direct par eau, cette pompe est conçue pour être compacte et efficace, intégrant un moteur immergé à accouplement direct et combinant une pompe primaire et une pompe booster sur un châssis compact.