Ce produit est recommandé pour
- régulation de débit
- contrôle de processus de lithographie
- optimisation de polissage mécanochimique
Description du produit
La GEMÜ C53 iComLine est une vanne de régulation à commande motorisée spécialement conçue pour répondre aux exigences complexes de l'industrie des semi-conducteurs. Grâce à sa technologie PD (Plug Design) éprouvée, cette vanne assure une séparation efficace entre l'actionneur et le fluide à l'aide d'un clapet de régulation en PTFE. Cela permet une régulation précise et sécurisée des fluides dans des environnements ultra-purs. Son actionneur linéaire haute résolution, associé à un moteur pas à pas, garantit un positionnement précis et une régulation fiable, même dans des applications exigeantes telles que la lithographie, le polissage mécanochimique et la gravure.
La GEMÜ C53 iComLine se distingue par sa capacité à s'adapter aux besoins spécifiques de chaque client. Le contour du cône de régulation, la course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être personnalisés, faisant de cette vanne une solution polyvalente pour l'industrie high-tech des semi-conducteurs. Fabriquée en salle blanche, elle est conforme à la norme SEMI F 57, garantissant ainsi des performances optimales dans des environnements sensibles. Avec sa construction en matériaux ultra-purs tels que le PFA et le PTFE, la GEMÜ C53 iComLine est conçue pour durer, même dans les conditions les plus rigoureuses.
Caractéristiques générales
| Caractéristique | Valeur |
|---|---|
| Formes de corps | Corps à passage en ligne |
| Indice de protection | IP65 |
| Matériau d'étanchéité | PTFE |
| Matériaux du corps | PFA | PTFE |
| Pression de service | 6 bars |
| Signaux d'entrée | 0 - 10 V | 4 - 20 mA |
| Tailles du raccord | 1/4'' à 3/4'' |
| Température ambiante | 40 °C |
| Température du fluide | 10 à 150 °C |
| Tension d'alimentation | 24 V DC |
| Types de raccordement | Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar® |
| Vitesse de positionnement | 2 mm/s |
FAQ - Informations clés
Quelle est la température maximale de fonctionnement pour la vanne de régulation C53 iComLine ?
La température maximale de fonctionnement pour la vanne de régulation C53 iComLine est de 150 °C.
Quelle est la pression de service maximale pour la vanne de régulation C53 iComLine ?
La pression de service maximale pour la vanne de régulation C53 iComLine est de 6 bars.
Quels sont les matériaux utilisés pour le corps de la vanne de régulation C53 iComLine ?
Les matériaux utilisés pour le corps de la vanne de régulation C53 iComLine sont le PFA et le PTFE.
