Ce produit est recommandé pour
- mesure de épaisseur de film
- détermination de composition de couches
- analyse d'uniformité de surface
Description du produit
L'analyseur de wafers 2830 ZT de PANALYTICAL® utilise la technologie avancée de fluorescence X à dispersion de longueur d'onde pour fournir des mesures précises de l'épaisseur et de la composition des films minces. Conçu spécialement pour l'industrie des semi-conducteurs et du stockage de données, cet instrument permet une analyse approfondie des compositions de couches, de leur épaisseur, des niveaux de dopants et de l'uniformité de surface pour une large gamme de wafers allant jusqu'à 300 mm.
Équipé du tube à rayons X SST-mAX 4 kW et de la technologie ZETA, le 2830 ZT assure des performances optimales tout au long de la durée de vie de l'instrument. Cette technologie réduit considérablement la nécessité de corrections de dérive et de réétalonnage, augmentant ainsi la productivité et le temps de disponibilité. Le logiciel SuperQ, avec son interface utilisateur intuitive, permet même aux opérateurs inexpérimentés de réaliser des analyses multicouches entièrement automatisées.
Le système FALMO-2G, qui s'intègre facilement dans tout environnement de laboratoire ou de production, offre une flexibilité de chargement avec différentes options telles que FOUP, SMIF, et cassette ouverte. Grâce à ses capacités avancées et à sa facilité d'utilisation, l'analyseur 2830 ZT est un outil essentiel pour les professionnels cherchant à optimiser la métrologie des semi-conducteurs.
Caractéristiques générales
| Caractéristique | Valeur |
|---|---|
| Angle de balayage | 10° à 100° |
| Cadence | 25 wafers par heure |
| Débit | 25 wafers/h |
| Diamètre de wafer max | 300 mm |
| Épaisseur de la fenêtre de Be | 300 µm |
| Gamme de scanner | 10 º-100 º 2θ |
| Nombre de canaux fixes | 24 |
| Nombre de goniomètres | Jusqu'à 2 |
| Puissance du tube à rayons X | 4 kW |
| Surface de mesure | 40 et 10 mm |
| Taille des wafers | 100 - 300 mm |
| Taille du spot de mesure | 10 mm à 40 mm |
FAQ - Informations clés
Quel est le débit de l'analyseur 2830 ZT ?
L'analyseur 2830 ZT a une cadence pouvant atteindre 25 wafers par heure.
Quelle est la taille des wafers supportée par l'analyseur 2830 ZT ?
L'analyseur 2830 ZT peut traiter des wafers de 100 à 300 mm.
Combien de canaux fixes l'analyseur 2830 ZT possède-t-il ?
L'analyseur 2830 ZT possède jusqu'à 24 canaux fixes.
Quelle est la gamme de scanner de l'analyseur 2830 ZT ?
La gamme de scanner de l'analyseur 2830 ZT est de 10 º à 100 º 2θ.
